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    CVD涂層設備
    

    CVD涂層設備
    

    產地：上海產品型號：CVD價格：面議 發布時間：2014-11-29
    


    CVD涂層設備技術參數

    

    一、系統的主要組成及技術指標

    系統主要由涂層沉積真空室、外加熱爐、氣路系統、尾氣處理系統等組成，實現加溫后，通入工作氣體，實現樣品的涂層生長等功能。

    1.使用機械泵抽氣真空度可達到：1Pa；

    2.*高溫度：1100℃；

    3.真空室內徑：230mm;

    4.恒溫區范圍：600mm×230mm

    5.進氣管直徑：10mm

    6.氫氣*大流量：30SLM; 氮氣*大流量：100SLM；甲烷*大流量：5SLM

    7.浴槽罐的容量：5公斤；水浴加熱*高溫度：100℃；浴槽罐數量：2套

    8.氣管加熱溫度：150℃

    


    

    

    

    電話：021-33719603
    

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